驅動裝置

單次行程（自動返回/手動返回）

追蹤速度

測量速度：0.05,0.1,0.2,0.5,1(mm/s)

返回速度：0.5,1,2（mm/s）

橫向直線度

0.3μm/25mm

尺寸

128×35.8×46.6mm

質量

600g

標準檢出器

檢測方式

差動電感式

測量范圍

800 μm，80 μm，8 μm

測針針尖材質

金剛石

測針半徑

2μm

測針角度

60°

導頭曲率半徑

R40mm

導頭壓力

小于400mN

測量力

0.75mN

測量方式

有軌/無軌測量

尺寸

Φ14×101.5mm

質量

28.8g

高度傾斜調整裝置

傾斜調整角度

±1.5° （0.27°/轉）

垂直行程

10mm     (0.5mm/轉)

尺寸

131×63×99mm

質量

400g

評價輪廓

原始輪廓：P、粗糙度輪廓：R、波紋度輪廓：W、DF輪廓：DF、粗糙度motif輪廓：R-motif、波紋度motif輪廓：W-motif

GO/NG判斷功能

最大規則/16%規則/平均規則/標準偏差（1σ,2σ，3σ）

（標準偏差僅可在ANSL標準下選擇，16%規則不能在VDA中選擇）

MOTIF組合方式

合并：ON/OFF 切換   W-Motif*⁵顯示  ： ON/OFF 切換

l 粗糙度motif上限長度（Ａ）：0.02, 0.1, 0.5, 2.5mm

           任意：0.02~12.49mm

l 波紋度motif上線長度（Ｂ）：0.1, 0.5, 2.5, 12.5 mm

            任意：0.1~25mm

粗糙度標準

JIS ‘82年/’94年/’01年、ISO’97年、ANSI、VDA,Free switchable

取樣長度

0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8, 25mm

截止長度

（λc\λs）

λc: 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8,mm

λs  *⁶: 2.5, 8, 25μm

取樣數

1~20,任意

任意評價長度

任意評價長度設置范圍

0.1~25mm(增量0.01)

數字濾波

2CR75/PC75/Gauss

范圍/分辨率

自動/取決于測量范圍

800μm/0.0125μm

80μm/0.00125μm

8μm/0.000125μm

校準

Ra 校準

多次測量平均校準

可以校準每個測針（5個）

蔓葉線

顯示功能

一次測量在兩個不同條件下評價。

不同條件，例如標準，測量輪廓，參數等

簡單輪廓分析

可以通過尺子分析階差，階差值，尺寸，坐標差。

（尺子，帶有輔助線的波形，和尺子標定的分析值可以打印）

圖形分析

BAC和ADC可以用標尺分析

傾斜補償

拋物線，雙曲線，橢圓，圓，圓錐，傾斜

（全部，前半部，后半部，任意）